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薄膜太阳能电池设备的设计步骤

发布时间:2021.07.30 新闻来源:江苏浩元动力科技有限公司,镇江无线电专用设备厂有限公司,镇江市美华机电产品有限公司 浏览次数:
    薄膜太阳能电池设备设计准则,包括以下步骤:对具有导电层的基板进行一激光制程,以形成图案化导电层,图案化导电层暴露出部分基板;测量图案化导电层电性;沉积半导体材料层于基板上并覆盖图案化导电层,沉积半导体材料层的方法采用不含四氢化硅(SiH4)的设备;对半导体材料层进行二激光制程,以形成图案化半导体层,图案化导电层暴露出部分图案化导电层;形成另一导电层于基板上并覆盖图案化半导体层;对另一导电层及其覆盖的图案化半导体层进行第三激光制程,以形成暴露出部分图案化导电层的另一图案化导电层。本发明可在低成本的情况下制作出薄膜太阳能电池,并可有效避免公共危险。
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